一、干式液氮溫區探針臺
產品特征如下：
1.真空腔體：真空度優千6X 10-4Pa。降溫后優千6X10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜）
2.探針控制：標配6個探針臂。調節范圍110mm*50mm*30mm, 調節精度優于10um。每個探針臂配 備一根Tri ax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Tri ax三同軸低漏電線纜；
3.顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡， 光學放大倍率：0 .5X~3. 75X （使用0. 75X附加物鏡時，視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優千2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；
4. 變溫樣品臺：直徑標配50mm, 選配最大150mm。變溫范圍：6K~400K。控溫穩定性優千土1. 01 K;
5. 可選配接入光纖， 可將一根或幾根電學探針替換為光纖
6. 系統直流漏電低于1pA;
7. 產品含進口分子泵機組、 全量程真空規和智能溫控儀。
二、低溫液氮探針臺
產品特征如下：
1. 真空腔體：真空度優于6X 10-4Pa。降溫后優于6X10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；
2. 探針控制：標配4個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm, 調節精度優于10um。每個探針臂配備Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜。
3.顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡， 光學放大倍率：0 .5X~3. 75X （使用0. 75X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭， 帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦。
4.變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩定性優于土0. 01 K;
5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；
6. 系統直流漏電低千1pA。
7.產品含進口分子泵機組、 全量程真空規和智能溫控儀。
三、室溫自動探針臺
室溫自動探針臺是高可靠性探針臺系統，主要應用在半導體／微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電／MEMs, 生物芯片， 航空航天等科學研究領域，以及IC設計／制造／測試／封裝、LED、 LCD/OLED、 LD/PD、 PCB、FPC等生產制造領域。旨在預算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現X、 Y、 Z、 R等方向自動調整，各移動軸可實現土0. 005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現快速準確的測量。經濟實用，穩定性強，可升級擴展，操作方便是本產品的核心價值，在各大高校、研究所及半導體行業應用廣泛。
產品特征如下：
1. 標配4個探針臂， 可提供4-8個探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm,調節精度優于5um。每個探針臂配備一根Tri ax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Tri ax三同軸低漏電線纜；
2. 顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡， 光學放大倍率：0.5X~5.0X （使用1X附加物 鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭， 帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦
3. 樣品座采用電機驅動， 可實現快速千目鏡下尋找樣品， 調節范圍：100mm*100mm*15mm＊ 士180°。
四、液氮恒溫器
超低震動干式液氮光學低溫恒溫器系統，使用氣體導熱隔震， 實現樣品臺納米級的機械穩定性。為有效降低環境震動影響， 產品設計安裝在光學隔震平臺上。超低震動干式液氮光學低溫恒溫器系統使用氮氣交換冷卻樣品， 樣品處最低溫度可達4. 2K, 最高溫度可達373. OK。另外設計調節支架，既滿足冷頭的支撐，同時可以調節冷頭的具體高度， 以方便使用。高度定制化的服務， 更是滿足客戶多元化的需求。
